三维叠层微电极微细电火花加工微结构及其间隙流场仿真分析

针对微柱状电极逐层扫描放电加工电极横截面尺寸微小、抗干扰能力较差的问题,提出一种电火花线切割与热扩散焊组合制备三维叠层微电极方法。通过建立三维叠层微电极间隙流场仿真模型,研究三维叠层微电极回退距离和移动速度对加工屑排出的影响,以及队列电极中电极数量对微结构加工精度的影响。结果表明:当电极回退距离大于微型腔深度且移动速度为2 mm/s时,有利于加工屑排出且提高了加工过程的稳定性。基于优化参数,采用包含3个微电极组成的队列电极在304不锈钢表面进行粗/精加工,获得形貌良好的三维微结构,最大尺寸误差为12μm,深度误差在4μm以内。

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本文档关键词:微细,仿真,三维,间隙,及其