SiC纤维束界面层连续化学气相沉积设备研制

物理气相沉积（Physical Vapor DepositionPVD）：在真空条件下，利用各种物理方法，将涂料气化成原子、分子或电离成离子，直接沉积到基片（工件）表面形成固态薄膜的方法。主要包括蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。（1）蒸发镀膜工件不带电，在真空条件下金属加热蒸发沉积到工件表面，沉积粒子的能量与加热时的温度相对应。

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本文档关键词:界面,沉积,纤维,化学,研制