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紫外光辐照下钛硅共掺杂类金刚石薄膜微结构的演化

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  • 类别：化学工程
关键词：金刚石   掺杂   薄膜   演化   微结构

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紫外光辐照下钛硅共掺杂类金刚石薄膜微结构的演化
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