铜化学机械抛光的弱缓蚀剂研究

利用电化学、接触角、化学机械抛光等试验研究一种新型环保的铜缓蚀剂聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone,PVP)的效果。结果表明:PVP在铜化学机械抛光中具有一剂多用的效果,将其与另一种环保弱缓蚀剂1,2,4–三氮唑(1,2,4–triazole,TAZ)混合使用,既能保证平坦化效果,又能实现工业生产所需的低压高去除率抛光,在粗糙度为2.28 nm时,去除率达到1291 nm/min。

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本文档关键词:化学,研究,机械抛光,弱缓蚀剂