用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究

为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_3抛光液,pH=11),172nm/min(Na2Cr_2O_7抛光液,pH=11)和147nm/min(NaClO抛光液,pH=13);抛光液中氧化剂含量、pH值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H_2O_2和Cr_2O_3可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。

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本文档关键词:抛光,碱性,液化,不锈,钢片