水导激光加工Al_(2)O_(3)_Al_(2)O_(3)复合材料微槽工艺研究

Al2O3/Al2O3复合材料因高硬度、耐高温、低成本而成为隔热与绝缘功能材料的首选,但其脆性大、非均质和各向异性的特性使传统加工技术难以满足微槽切割的质量和精度要求。对此,提出采用水导激光加工Al2O3/Al2O3复合材料微槽的方案,研究激光功率、扫描间距、扫描速度对微槽形貌和精度的影响,并揭示了去除机理。结果表明,水导激光通过激光烧蚀和水束冲刷的共同作用,使材料产生熔化与升华,进而实现材料去除,其中激光功率是打通微槽的关键参数。当采用激光功率20 W、扫描间距20μm、扫描速度0.2 mm/s的工艺参数加工Al2O3/Al2O3复合材料微槽,能够满足宽度0.10-0.05mm、深度0.4+0.2-0.2mm的精度要求。

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本文档关键词:激光,加工,复合材料,研究,Al_