多晶金刚石片的机械磨抛工艺

使用游离磨料进行机械研磨是金刚石平坦化的主流加工手段之一。针对多晶金刚石的材料特性,开展变参数的游离磨料机械研磨实验。通过改变磨料粒度、研磨压力、研磨液浓度,研究其对多晶金刚石片机械研磨的材料去除率和表面粗糙度的影响规律。结果表明:材料去除率随磨料粒度和研磨压力的增大而增大,随研磨液浓度的增大先增大后趋于稳定,其中磨料粒度是对去除率影响最显著的因素;而表面粗糙度随磨料粒度的减小而降低,随研磨压力和研磨液浓度的增大呈现先降低后升高的变化趋势,其中磨料粒度对多晶金刚石加工表面质量的影响最为显著。据此可以确定最适合加工多晶金刚石的工艺参数为研磨压力0.3 MPa、磨粒粒度W10(7.5~10μm)、研磨液浓度4%,此条件下加工的多晶金刚石片表面粗糙度最优,Ra约为96 nm,材料去除率为7.097μm/h。

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本文档关键词:金刚,机械,多晶,石片,磨抛工艺