基于分形理论的旋转超声磨削Si_(3)N_(4)陶瓷表面微观形貌
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为了研究旋转超声磨削Si3N4陶瓷表面的微观形貌,基于分形理论研究不同加工参数下Si3N4陶瓷表面微观形貌的变化。设计旋转超声磨削Si3N4陶瓷正交试验,对比分析不同加工参数对Si3N4陶瓷表面分形维数和多重分形谱的影响,并设计单因素试验研究不同加工参数下Si3N4陶瓷表面的粗糙度、分形维数和多重分形谱。结果表明:旋转超声磨削Si3N4陶瓷表面时,分形维数能更好地表征其加工表面的缺陷状态,多重分形谱则能更好地表征其加工表面缺陷的起伏程度变化。
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本文档关键词:微观,旋转,陶瓷,表面,磨削