固态纳米孔高能束制造方法

固态纳米孔因具有机械性能好、稳定性强、形状易控的优点,在基因检测、蛋白质检测、能量转换、物质分离以及水净化等领域显示出巨大的潜力,并引起众多研究人员关注。其中,形状可控、高效的固态纳米孔制造技术是现实固态纳米孔应用的前提。目前,在常见的固态纳米孔制造方法中,高能束制造方法具有高效率、高精度、高可控制造的优势。本文重点概述高能电子束、聚焦离子束、激光刻蚀法和离子径迹刻蚀法等4种固态纳米孔制造方法及其基本原理,并讨论上述方法的优缺点及其大规模可控制造的可行性。

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本文档关键词:固态,高能,纳米,束制造方法