光学玻璃CMP用LaCePr抛光液制备及其组织和性能

以包头混合型稀土矿经浓硫酸强化焙烧、水浸、中和除杂、P507萃取转型分级的产物为原料配制LaCe-Pr氯化液,以碳酸氢铵和氨水的混合液为沉淀剂,氢氟酸为氟化剂,聚丙烯酸钠、六偏磷酸钠、氢氧化钠等为添加助剂,通过并流沉淀、氟化、高温焙烧、引入助剂、调浆湿法球磨等工序成功制备LaCePr稀土CMP抛光液。借助扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X-Ray衍射仪(XRD)、平面精密研磨抛光机及光学3D表面轮廓仪对制备的抛光液性能进行表征。结果表明:La、Pr和F元素均以溶质原子固溶的方式进入CeO2晶格中,LaCePr抛光液风干后样品中的立方萤石结构CeO2、四方结构LaOF、面心立方Pr6O11起协同CMP作用。累积抛光H-K9L光学玻璃片120 min后,其最大抛蚀速率可达219.7 nm/min,表面粗糙度Sa由抛光前的1.123 nm降至抛光后的0.668 nm。相同条件下用于对比测试的LaCe抛光液的最大抛蚀速率仅为199.9 nm/min,且抛光后的表面粗糙度Sa降至0.659 nm。因此,制备的LaCePr CMP抛光液综合性能较优。

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本文档关键词:抛光,制备,及其,光学玻璃,组织