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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiN_TiCN多层膜的高温抗氧化性能

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  • 类别：材料论文
关键词：沉积   氧化   多层   高温   磁控溅射

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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiN_TiCN多层膜的高温抗氧化性能
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