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Si_(3)N_(4)基底TiC薄膜的制备及其摩擦学性能的研究

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  • 类别：材料论文
关键词：基底   制备   薄膜   摩擦   及其

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Si_(3)N_(4)基底TiC薄膜的制备及其摩擦学性能的研究
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