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Cr及Cr-Ni掺杂对不同偏压下TiAlN薄膜性能的影响

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  • 类别：材料论文
关键词：掺杂   薄膜   偏压   不同   影响

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Cr及Cr-Ni掺杂对不同偏压下TiAlN薄膜性能的影响
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