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T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:综合团体标准
  • 更新日期:2024-03-21
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资源简介
本文件规定了X射线光电子能谱仪(XPS)深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
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T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱资源截图