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T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱
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531.44 KB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
综合团体标准
更新日期:
2024-03-21
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关键词:
薄膜
X射线
多层
金属
光电子
中关村材料试验技术联盟
资源简介
本文件规定了X射线光电子能谱仪(XPS)深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
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