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T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉

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  • 大小：648.51 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2024-02-28
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资源简介
本文件规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、对设计和制造的补充要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承诺。
本文件适用于直拉法单晶生长炉（以下简称“单晶炉”）。
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