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T/ZZB 3539-2023 单晶硅棒磨倒一体机

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  • 大小：843.09 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2024-02-24
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资源简介
本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于加工边距尺寸为156 mm～240 mm 的单晶硅棒的磨倒一体机（以下简称“磨倒一体机”）。
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