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T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-07-10
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资源简介
本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。
本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs 的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
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