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T/EBA 43002-2023 朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-04-04
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资源简介
本规范规定了朗缪尔单探针等离子体测试仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。
本规范适用于电子密度范围1012m3~1018m3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。
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