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T/EBA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范

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  • 大小：792.85 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-04-04
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资源简介
本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置〉和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
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