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T/CAEA 15-2021 真空磁控溅射镀银工艺及质量检验

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  • 大小：1.17 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-03-08
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资源简介
本标准规定了真空磁控溅射镀银有关的术语和定义、工艺方法、材料与设备要求、质量检验以及包装储存等。
本标准适用于航空航天、船舶、电子等领域的金属以及非金属零件的真空磁控溅射镀银工艺、质量控制与验收。
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