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T/IAWBS 015-2021 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-17
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资源简介
本文件规定了利用双晶X 射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。
本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
本文件适用于β相氧化镓单晶。
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