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T/IAWBS 008-2019 SiC晶片的残余应力检测方法
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大小:
606.67 KB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
综合团体标准
更新日期:
2023-02-17
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关键词:
晶片
应力
SiC
检测
IAWBS
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
资源简介
本标准规定了SiC晶片内部残余应力的光学无损检测方法。
本标准适用于晶片厚度适当,对波长400-700nm的可见光范围内测试光的透过率在30%以上的SiC晶片。
下载地址
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