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T/IAWBS 005-2018 6英寸碳化硅单晶抛光片

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  • 语言：中文版
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  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-17
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资源简介
本标准规定了6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。产品作为衬底材料主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件。
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