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T/IAWBS 001-2017 碳化硅单晶

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  • 大小：5.56 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-17
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资源简介
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义,产品分类.技术要求、试验方法、检测规则以及标志,包装、运输、贮存等。
本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。
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