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T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备

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  • 大小：480.6 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-16
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资源简介
本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。
本文件适用于超快激光精密微纳加工设备（以下简称微纳加工设备）的研制、生产和交付。
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