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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

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语言：中文版
格式： PDF文档
类别：综合团体标准
更新日期：2023-02-15

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关键词：仿真 MEMS 传感器汽车 NLIA 武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟武汉激光学会

资源简介

本文件规定了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。
本文件用于指导汽车MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用，以促进传感器工艺仿真模型的使用和灌封工艺的改良。
本文件适用的汽车MEMS 压力传感器产品包括：
汽车胎压传感器；
机油压力传感器；
燃油压力传感器；
燃油蒸汽压力传感器；
制动真空度传感器；
汽车尾排气压力传感器等。
注：上述传感器大多基于但不限于硅压阻式工作原理。

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