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T/SZMES 3-2021 薄膜应力测定 基片弯曲法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-03
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资源简介
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。
本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
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