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T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

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  • 大小：1.86 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2022-03-31
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资源简介
本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗。光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙可参考使用。
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