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T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2024-09-09
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资源简介
本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。
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