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T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

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  • 大小：419.55 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2024-06-28
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资源简介
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。
本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。
本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
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