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> GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置 正式版
GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置 正式版
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1.91 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2024-01-18
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关键词:
热和
装置
生长
碳化硅
资源简介
本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下,采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置,其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。
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