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SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式 PECVD 设备

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  • 大小:8.91 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
  • 更新日期:2023-11-30
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关键词:晶体   电池   化学   增强   设备
资源简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备,产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。
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SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式 PECVD 设备资源截图