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GB/T 42789-2023 正式版硅片表面光泽度的测试方法

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大小：1.18 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2023-11-08

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关键词：硅片光泽表面正式版 GB

资源简介

本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。

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