本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。
标准号：GB/T 42191-2023
标准名称：MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
英文名称：Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
引用标准：GB/T 2423.1-2008 GB/T 2423.2-2008 GB/T 2423.5 GB/T 2423.22 GB/T 4937.12 GB/T 26111 GB/T 33922
