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GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性

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  • 大小:7.06 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
  • 更新日期:2023-04-16
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关键词:粒子   浓度   受控   设备   洁净室
资源简介
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。
本文件不适用于:
——根据微生物污染评估适用性;
——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试;
——设备和材料的可清洁性;
——设备设计及材料选择的要求;
——材料的静电、热学等物理性能;
——具体工艺场合设备性能的优化;
——测试统计方法的选用;
——当地安全法规的条款和要求。
下载地址
GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性资源截图