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> GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
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大小:
7.06 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2023-04-16
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关键词:
粒子
浓度
受控
设备
洁净室
资源简介
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。
本文件不适用于:
——根据微生物污染评估适用性;
——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试;
——设备和材料的可清洁性;
——设备设计及材料选择的要求;
——材料的静电、热学等物理性能;
——具体工艺场合设备性能的优化;
——测试统计方法的选用;
——当地安全法规的条款和要求。
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