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GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定二次离子质谱法

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大小：1.17 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2023-02-23

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关键词：离子元素含量分布痕量

资源简介

本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。
注：氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。

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