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GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

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  • 大小：2 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2023-01-08
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关键词：半径   衬底   曲率   氮化   GB
资源简介
本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。
本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化镓外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。
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