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GB/T 41853-2022 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量

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  • 大小:5.74 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
  • 更新日期:2022-12-26
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关键词:器件   微机   半导体   半导体器件
资源简介
本文件规定了晶圆键合后键合强度的测量方法,适用于硅硅共熔键合、硅玻璃阳极键合等多种晶圆键合方式,以及MEMS工艺、组装流程中相关结构尺寸的键合强度的评估。
本文件适用于从十微米到几毫米厚的晶圆间的键合强度测量。
下载地址
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