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GB/T 41853-2022 半导体器件微机电器件晶圆间键合强度测量

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大小：5.74 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2022-12-26

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关键词：器件微机半导体半导体器件

资源简介

本文件规定了晶圆键合后键合强度的测量方法，适用于硅硅共熔键合、硅玻璃阳极键合等多种晶圆键合方式，以及MEMS工艺、组装流程中相关结构尺寸的键合强度的评估。
本文件适用于从十微米到几毫米厚的晶圆间的键合强度测量。

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GB/T 41853-2022 半导体器件微机电器件晶圆间键合强度测量资源截图

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