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SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范
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大小:
8.08 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2022-09-19
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关键词:
设备
SJ
21315
2018
通用规范
资源简介
本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
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