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SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
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大小:
6.22 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2022-08-11
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关键词:
器件
惯性
刻蚀
工艺技术
要求
资源简介
SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
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