GB∕T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm（100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1： 本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片)、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2： 请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3： 本文件未考虑健康与安全事项。
标准号：GB/T 25915.12-2021
标准名称：洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
采用标准：ISO 14644-12:2018
采标名称：《洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》
采标程度：IDT 等同采用
起草人：王尧、姜伟康、蔡杰、孙玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱兰、翟传明、蒋乃军、邴绍同、石小雷、高正、吴小泉、叶伟强、张敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖轶群
起草单位：中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
