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GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF版
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2012-01-09
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关键词：电压   测定   电容   载流子   探针   浓度   汞
资源简介
GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
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