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DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英绀蜗生产技术规范

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  • 大小：404.36 KB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合地方标准
  • 更新日期：2023-03-14
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关键词：石英   专用   生长   电子   单晶硅   绀蜗
资源简介
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
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