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DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

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  • 大小：1.73 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合地方标准
  • 更新日期：2022-12-16
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关键词：探针   方块   无损   薄膜   电阻
资源简介
本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定﹐方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104Ω
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