本文件规定了电子工业用气体30%氧气/氦气混合气中氧气及杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用气体30%氧气/氦气混合气中氧气、氢气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳和水分的测定。氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 氧气含量测定的检限不大于 5×10 -6（体积分数）， （体积分数）， （体积分数）， （体积分数）， 氢气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检测限不大0.01×10-6（体积分数），水含量测定的检测限不大于0.01×10-6（体积分数）。
