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QJ 20505-2016 全方位离子注入与沉积制备类金刚石碳膜 技术条件

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  • 大小：2.09 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：航空航天民航
  • 更新日期：2017-12-20
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关键词：金刚石   制备   沉积   离子   全方位
资源简介
QJ 20505-2016 全方位离子注入与沉积制备类金刚石碳膜 技术条件
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