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GB 50809-2012 高清晰版 硅集成电路芯片工厂设计规范

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  • 大小:11.5 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:规章规范
  • 更新日期:2023-03-07
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关键词:集成电路   芯片   工厂   设计规范   GB
资源简介
为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律、法规,满足硅集成电路芯片生产要求,确保人身和财产安全,做到安全适用、技术先进﹑经济合理、环境友好,制定本规范。
本规范适用于新建,改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求,同时应为施工安装、调试检测、安全运行、维护管理提供.必要条件。
硅集成电路芯片工厂的设计,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
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