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YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用

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大小：2.43 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：金属冶金
更新日期：2022-11-21

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关键词：色谱含量硅烷联用 YS

资源简介

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为 0.000 010%～0.10%。
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