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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

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  • 大小：2.23 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：金属冶金
  • 更新日期：2022-03-21
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关键词：硅片   轮廓   边缘   检验   方法
资源简介
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口)，砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
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