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YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

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  • 大小：1.37 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：金属冶金
  • 更新日期：2019-05-15
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关键词：高纯   纯度   杂质   薄膜   指南
资源简介
YS∕T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
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